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長度計量器具(量塊部分)檢定系統(tǒng)框圖(彩色抄錄版)

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長度計量器具(量塊部分)檢定系統(tǒng)框圖(彩色抄錄版)

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長度計量器具(量塊部分)檢定系統(tǒng)

JJG2056-90

本檢定系統(tǒng)適用于長計量器具--量塊和與量塊長度密切相關(guān)的計量器具的檢定,規(guī)定了長度單位(m)國家基準(zhǔn)的用途,基準(zhǔn)所包括全套的基本計量器具,基準(zhǔn)的基本計量學(xué)參數(shù)和借助于副基準(zhǔn)、工作基準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)向工作計量器具傳遞長度單位量值的程序,并指出其不確定度、示值誤差和基本檢定方法。

一、計量基準(zhǔn)器具1、國家長度計量基準(zhǔn)

1.1國家長度計量基準(zhǔn)由經(jīng)過飽和吸收穩(wěn)頻的激光輻射線波長(λ=3.3922313970μm,λ=0.6329913981μm,λ=0.6119707698μm)和其他由米定義咨詢委員會(CCDM)推薦的輻射線波長所組成,其測量結(jié)果總的相對不確定度Ur(置信限)為Ur=1.3×10-10~4×10-9

1.2計量基準(zhǔn)的用途,對上復(fù)現(xiàn)國際米定義--光在真空中在299792458分之一稱時間間隔內(nèi)所行經(jīng)距離的長度--所定義的長度(m);對下把其所復(fù)現(xiàn)的長度經(jīng)由拍頻或其他比較方式傳遞到工作基準(zhǔn)。2、副基準(zhǔn)

副基準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和技術(shù)指標(biāo)與基準(zhǔn)相同,通過相互比對與基準(zhǔn)保持一致或傳遞到工作基準(zhǔn)。3、工作基準(zhǔn)

3.1工作基準(zhǔn)由穩(wěn)頻的He-Ne激光波長,86Kr,198Hg,114Cd,Kr,He和Cd輻射線的波長,其測量結(jié)果總的相對不確定度Ur=5×10-8~1×10-7,適當(dāng)類型的光波干涉儀,鋼量塊組(標(biāo)稱長度為:1,50,100,500和1000mm6塊)和石英量塊組(標(biāo)稱尺寸為:5,50,100,500和1000mm6塊)等三部分組成。當(dāng)置信概率為0.99,其長度測量結(jié)果的總絕對不確定度(或總不確定度)U(用置信限表示--以下均同)為:U=(0.02+0.1ι)μm式中:ι--量塊的長度(m)。

3.2工作基準(zhǔn)中的長度測量裝置,直接用于高等級量塊(包括工作基準(zhǔn)組量塊)的長度測量。其中工作基準(zhǔn)組量塊主要用于國際和國內(nèi)最高等級量塊長度測量裝置測得結(jié)果的相互比對,以此保持量值在國內(nèi)和國際間的統(tǒng)一。

二、計量標(biāo)準(zhǔn)器具

4、計量標(biāo)準(zhǔn)器具由各種類型具有直接測量或比較測量功能的儀器和分為6個等的量程到1000mm的量塊組成。當(dāng)置信概率為0.99,各等量塊中心長度測量結(jié)果的總不確定度U(置信限)如表1所示。表1

標(biāo)準(zhǔn)量塊的等123456中心長度測量的總不確定度U(μm)0.02+0.2ι0.05+0.5ι0.10+1.0ι0.20+2.0ι0.5+5ι2.0+12ι

4.1計量標(biāo)準(zhǔn)器中的儀器,凡具有直接測量功能的,例如光波干涉儀、測長機和測長儀等,可以直接測量相應(yīng)等級的量塊和工作計量器具的長度。只具有比較測量功能的,例如某些類型的接觸干涉儀、光學(xué)計和電感比較儀等,采用比被測高一等的量塊作標(biāo)準(zhǔn),比較測量相應(yīng)等級的量塊和其他工作計量器具。

4.2計量標(biāo)準(zhǔn)器中的各等量塊,可以用直接測量或比較測量法檢定適當(dāng)示值誤差的工作計量器具。

三、工作計量器具

工作計量器具的名稱和有關(guān)特征列于表2。

測量方式DDCDCDCDCDCMDDDD名稱00級量塊0級量塊K級量塊1級量塊2級量塊3級量塊量塊長度測量的干涉儀量塊長度測量的干涉儀量塊長度測量的干涉儀量塊長度測量的干涉儀立式接觸式干涉儀臥式接觸式干涉儀0.2μm光學(xué)計1μm立式光學(xué)計1μm臥式光學(xué)計0.1μm扭簧比較儀0.2μm扭簧比較儀0.5μm扭簧比較儀1μm扭簧比較儀2μm扭簧比較儀5μm扭簧比較儀10μm扭簧比較儀0.1,1,10μm電感比較儀0.5μm杠桿齒輪式比較儀量程R0.5-10000.5-10000.5-10000.5-10000.5-10000.5-1000~1000~100~100100~1000±(2.5,5,10)μm±(2.5,5,10)μm±(20,83)μm±100μm±100μm±100μm±100μm±100μm±60μm±50,60μm±60μm±60μm±30,±300μm示值誤差△0.05+1.0ι0.10+2.0ι0.20+4ι0.20+4ι0.4+8ι0.8+16ι0.02+0.2ι0.02+0.2ι0.03+0.5ι0.03+0.5ι0.03+1.5ni×△λ/λ0.03+1.5ni×△λ/λ0.05+0.0025A0.2-0.250.2-0.250.1-0.20.15-0.30.25-0.50.40-1.00.8-1.22-33-50.1-50.25-0.5OOS112234D1.2D2D23D23D2234553523D4D4D5DDDDD3D1μm杠桿齒輪式比較儀2μm杠桿齒輪式比較儀測微儀檢定器1μm測微計2μm測微計5,10μm測微計1μm測長機1μm立式測長儀1μm臥式測長儀千分表檢定儀百分表檢定器工具顯微鏡氣動浮標(biāo)式測量儀氣動指針式測量儀杠桿千分尺校對量桿0級千分尺校對量桿1級千分尺校對量桿公法線千分尺校對量桿0.010級千分尺0.011級千分尺0.01深度千分尺0.01帶表千分尺0.01板厚千分尺0.01壁厚千分尺0.01內(nèi)側(cè)千分尺內(nèi)側(cè)千分尺校對量具10μm內(nèi)徑千分尺1,2μm杠桿千分尺公法線千分尺2μm杠桿式卡規(guī)5μm杠桿式卡規(guī)10μm百分表式卡規(guī)0.01,0.02帶表游標(biāo)卡尺0.05帶表游標(biāo)卡尺0.02游標(biāo)卡尺0.05游標(biāo)卡尺0.1游標(biāo)卡尺0.05游標(biāo)高度尺0.1游標(biāo)高度尺0.5-11-20.10.512-2.534D45D32D4D45D5D23D

3D33343333D0-±100μm0-1,2,3,6m0-1000-1000-1,0-10-250-20.014-0.090.05-0.425-7525-7525-47525-1250-1000-5000-1500-1000-250-25-5050-50000-1000-1500-1500-1500-1500-10000-3000-3000-10000-10000-10000-201*0-201*0.2-0.250.5+10ι1+10ι1+5ι0.8-1.540.60.4-210.51-1.52-52-2.524-105-1034-88836-702-65-61-22.5-510-25205020-7050-125100-15050-201*00-250DDDDDDC4C4C4C45DD5D4D5D55453DDCCD4,5D5D45666DDDDD6D

6D66DD

表中:R--量程,除已標(biāo)明的以外,其余計量單位為(mm);△--示值誤差(μm);

O--檢定該示值誤差時應(yīng)采用標(biāo)準(zhǔn)量塊的等別;

OS--采用多于1對并按串列方式組合的量塊用作示值誤差檢定時應(yīng)選量塊的等別;ι--示值誤差△公式中被測長度(m);

A--示值誤差△公式中被測與標(biāo)準(zhǔn)兩者長度之差在儀器上的讀數(shù)值(μm);n--示值誤差△檢定時,受檢間隔在儀器標(biāo)尺上讀出的格數(shù);i--示值的分度值(μm/格);△λ--濾光片波長的測量誤差(μm);λ--濾光片波長(μm);D--直接測量方式;C--比較測量方式;

M--直接和比較混合的測量方式。

四、長度計量器具(量塊部分)檢定系統(tǒng)框圖圖中符號說明:

Ur--測量結(jié)果總的相對不確定度(置信限);

U--測量結(jié)果總的絕對不確定度或稱總不確定度(置信限)(μm);△--示值誤差(μm);ι--被測的長度(m)。注:1、除標(biāo)明單位的以外,框圖內(nèi)量程的單位均為(mm);

2、沒有被列入本檢定系統(tǒng)的計量器具,只要符合規(guī)定的要求都可以使用。

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